Ċina Arc Evaporazzjoni Thin Film Tagħmir Manifatturi Fornituri Fabbrika

Ħarsa ġenerali tal-prodott

Is-Sistema ta 'Evaporazzjoni bl-Ark Katodiku Industrijali hija pjattaforma ta' produzzjoni-depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD) inġinerija għad-depożitu ta' kisjiet iebes għall-ilbies-reżistenti għall-korrużjoni-, u b'frizzjoni baxxa-. Bl-użu ta' arki elettriċi ta'-vultaġġ baxx, għoli-kurrent, miri tal-katodu solidu huma vaporizzati u jonizzati istantanjament fil-post tal-katodu, u jiġġeneraw plażma tal-metall jonizzata ħafna.

Iddisinjata u mmanifatturata skont l-istandards tal-ġestjoni tal-kwalità tal-ISO 9001 u d-direttivi ta' konformità CE, din is-sistema hija kkonfigurata għal operazzjonijiet ta' kisi ta'-rendiment għoli fil-manifattura tal-għodda, komponenti tal-karozzi, u setturi tal-ħardwer industrijali. Konfigurazzjonijiet standard jintegraw layouts multi-katodi bi tmexxija ta' kamp manjetiku-indipendenti, provvisti ta' enerġija bias DC/pulsed programmabbli, u kontroll awtomatizzat tal-vakwu biex tinżamm stoekjometrija tal-film konsistenti u mikrostrutturi densi.

Sistema ta' Film Irqiq ta' Evaporazzjoni bl-Ark
Is-Sistema tal-Film Irqiq tal-Evaporazzjoni tal-Ark Katodiku Industrijali hija mfassla għad-depożizzjoni b'rata-għola ta' kisjiet komposti densi, ta' liga u taċ-ċeramika tal-metall li jwaħħlu sew....
ara aktar
Tagħmir PVD ta' Evaporazzjoni bl-Ark
Is-sistema PVD ta' evaporazzjoni bl-ark katodiku industrijali tutilizza arki elettriċi ta'-vultaġġ baxx, ta' kurrent għoli- biex tivvaporizza miri ta' katodu solidu f'ambjent vakwu. Dan...
ara aktar
Sistema ta 'film irqiq ta' l-ark tal-vakwu
Is-Sistema tal-Films Irqiq tal-Ark tal-Vakwu Industrijali tutilizza l-evaporazzjoni tal-ark katodiku biex tiddepożita films irqaq metalliċi densi, aderenti ħafna, liga u ċeramika. Ark ta'-kurrent...
ara aktar
Tagħmir tal-Film Irqiq tal-Ark Katodiku
Sistema ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD) li tutilizza arki elettriċi ta' vultaġġ baxx-, kurrent għoli-lokalizzat biex jiġu vaporizzati miri ta' katodu solidu fi plażma kompletament...
ara aktar
Tagħmir ta 'Depożizzjoni ta' Evaporazzjoni bl-Ark
Pjattaforma ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar industrijali (PVD) inġinerija għal-sinteżi b'rata għolja ta' kisjiet iebsin densi, reżistenti għall-ilbies-u funzjonali. Is-sostenn ta' -kurrent għoli,...
ara aktar
Tagħmir tal-Film Irqiq tal-Evaporazzjoni tal-Ark
Din is-sistema ta' evaporazzjoni bl-ark katodiku tifvaporizza miri katodi solidi permezz ta' ark elettriku ta'-vultaġġ baxx, għoli-kurrent biex tiġġenera plażma tal-metall kompletament jonizzata....
ara aktar

Speċifikazzjonijiet Tekniċi

Parametru	Firxa ta 'speċifikazzjoni / Konfigurazzjoni Standard
Dimensjonijiet tal-Kamra	Dijametru: 800 mm - 1800 mm (Taqsim vertikali/orizzontali personalizzabbli)
Materjal tal-Kamra	Istainless steel SUS304 b'ħitan doppji b'kanali interni ta' tkessiħ tal-ilma-
Pressjoni tal-Vakwu Ultimate	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Konfigurazzjoni tal-Katodu	4 sa 12-il sors ta 'ark rettangolari/ċirkolari bl-istering elettromanjetiku
Provvista tal-Enerġija tal-Ark	300A - 500Kurrent kostanti aġġustabbli, tmewwiġ<= 2%
Qawwa ta' Preġudizzju tas-Sustrat	0 sa -1000V aġġustabbli, frekwenza bias pulsata 10 kHz - 100 kHz
Sistema tat-Tisħin	Array heater radjanti, temperatura massima 600 grad +/- 5 grad uniformità
Rotazzjoni tal-biċċa tax-xogħol	Rotazzjoni planetarja jew ta' assi doppju-immexxi minn feedthrough ta' fluwidu manjetiku
Sistema ta' Kontroll	PLC + PC industrijali, kontroll tas-sekwenza awtomatizzat immexxi minn riċetta-
Rekwiżiti ta' Utilità	Ilma li jkessaħ: 0.25-0.35 MPa, 20-25 grad; Qawwa: 380V/480V, 3-phase, 50/60 Hz

Proċess ta' Evaporazzjoni bl-Ark

Iċ-ċiklu tad-depożizzjoni jopera taħt kontroll proċedurali strett biex jiggarantixxi l-integrità tal-film u l-adeżjoni tal-interface:

Evakwazzjoni u ħruġ ta' gass:

Il-kamra tal-vakwu tiġi ppumpjata sal-pressjoni bażi. Is-sottostrati jissaħħnu taħt vakwu biex jiġu eliminati l-volatili tal-wiċċ u l-umdità residwa.

Inċiżjoni bil-plażma (Tindif):

Il-bumbardament tal-jone tal-metall (bl-użu ta 'sorsi ta' mira tat-titanju jew tal-kromju) inaddaf il-wiċċ tas-sottostrat f'livell atomiku, billi jneħħi l-ossidi indiġeni u jattiva l-interface.

Depożizzjoni Reattiva:

Gassijiet reattivi (N2, CH4, O2) huma injettati fil-kamra permezz ta 'kontrolluri tal-fluss tal-massa (MFCs) biex jirreaġixxu mal-fluss tal-plażma tal-metall (eż., Ti, Cr, AlTi), li jiffurmaw films komposti bħal TiN, TiAlN, jew CrN.

Tkessiħ u Venting:

It-tkessiħ ta' wara-deposizzjoni jseħħ taħt atmosfera protettiva ta' gass inert qabel il-ventilazzjoni tal-kamra u l-irkupru tal-parti.

Materjali u Substrati tal-Film

Miri Katodi Appoġġjati
Titanju (Ti) & Titanju Aluminju (TiAl):Materjali bażi għal TiN standard u kisjiet TiAlN ta'-ossidazzjoni-reżistenza għolja (jiflaħ l-ossidazzjoni sa 900 grad).

Kromju (Cr):Użat għal finituri dekorattivi u saffi CrN/CrC reżistenti għall-korrużjoni-.

Żirkonju (Zr) u Titanju Silikon (TiSi):Applikat għal films nanokomposti dekorattivi u estremi reżistenti għall-ilbies-.

Materjali Sottostrat Kompatibbli
-Azzar b'Veloċità Għolja (HSS):Twist drills, end mills, hobs, u broaches.

Karburi Simentati (WC-Co):Inserzjonijiet indiċjabbli, reamers, u forom dies.

Azzar u Ligi tal-Inġinerija:Komponenti tal-valv tal-karozzi, gerijiet, ħardwer sanitarju tal-istainless steel, u impjanti mediċi tat-titanju.

Applikazzjonijiet u Impatt fuq il-Prestazzjoni

Għodod tal-Qtugħ tal-Metall:

Depożizzjoni ta 'kisi TiAlN u AlCrN fuq inserzjonijiet tal-karbur u imtieħen tat-tarf, li testendi l-ħajja tal-għodda b'200% sa 300% u tippermetti magni niexef b'veloċità għolja-.

Dies għall-iffurmar u l-ittimbrar:

Applikazzjoni ta' kisjiet densi u ta' frizzjoni baxxa-biex tnaqqas l-użu tal-kolla, it-tagħqid, u t-twaħħil tal-biċċa tax-xogħol waqt it-tpinġija fil-fond, u tnaqqas il-ħin ta' waqfien sa 40%.

Powertrain tal-Karozzi:

Trattament ta 'ċrieki tal-pistun, pinnijiet tal-injezzjoni tal-fjuwil, u tappets biex jimminimizzaw il-koeffiċjent tal-frizzjoni tal-konfini 'l isfel sa < 0.15 u jipprevjenu l-użu tat-tixrib.

Ħardwer Industrijali u Faucet Sanitarju:

Saffi dekorattivi iebsa PVD (deheb TiN, deheb rose, żirkonju iswed) li jgħaddu minn minimu ta '500 siegħa newtrali melħ sprej test (ASTM B117).

Personalizzazzjoni u Konfigurazzjoni tal-Proċess

It-tqassim tat-tagħmir jiskala skont il-volum tal-produzzjoni, il-ġeometrija tal-parti, u l-impronta tal-fabbrika:

Ġeometrija tal-Kamra:

Strutturi ta' tagħbija vertikali għal għodda tqal; konfigurazzjonijiet orizzontali tal-lott għal tagħbija ta' tagħmir ta'-kapaċità għolja.

Integrazzjoni tas-Sors:

Konfigurazzjonijiet ibridi li jgħaqqdu sorsi ta' ark katodiku ma' katodi żbilanċjat ta' magnetron sputtering (RMS) biex jiddepożitaw arkitetturi b'ħafna saffi bla xkiel u qtar-.

Sistemi ta' Filtrazzjoni:

Filtri tal-makropartikuli manjetiċi mhux obbligatorji (filtri bl-ark immexxi) installati fuq kanali tal-katodu biex jeliminaw il-makro-qtar għal kisjiet funzjonali ta' preċiżjoni ottika jew ultra-lixx.

Interface tal-Awtomazzjoni:

Integrazzjoni-lesta għall-armi tat-tagħbija robotiċi u l-istadju tal-lott ta' vetturi ggwidati awtomatizzati (AGV).

Manifattura u Kontroll tal-Kwalità

Integrità Strutturali:Il-korpi tal-kamra jgħaddu minn ttestjar tat-tnixxija tal-ispettrometru tal-massa tal-elju f'limitu ta' sensittività ta'<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Sigurtà Elettrika u Konformità:Mibnija strettament għal linji gwida tas-sigurtà elettrika CE u IEC, li fiha ttestjar sħiħ ta 'insulazzjoni u interlocks ta' sigurtà ta 'emerġenza.

Run-Funzjonali (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentazzjoni HF1-HF2) huma vverifikati fuq kupuni tat-test standard qabel il-ġarr.

Installazzjoni u Appoġġ Tekniku

Pakkett ta' Preparazzjoni tas-Sit:

Tpinġijiet komprensivi tat-tqassim tal-utilità li jagħtu dettalji dwar ir-rati tal-fluss tal-ilma li jkessaħ, il-ventilazzjoni tal-egżost, il-kapaċità tat-tagħbija tal-art, u l-ispeċifikazzjonijiet tal-waqgħa tal-elettriku pprovduti 4 ġimgħat wara-kuntratt.

-Kummissjonar fuq is-Sit:

Fabbrika-inġiniera tal-proċess iċċertifikati jimmaniġġjaw l-allinjament mekkaniku, l-iskoperta tat-tnixxija tal-vakwu, l-integrazzjoni elettrika, u s-setup inizjali tar-riċetta tal-linja bażi fil-faċilità tal-klijent.

Ipproċessa Trasferiment tar-Riċetta:

Il-kunsinna tinkludi riċetti ta 'linja bażi standard (TiN, TiAlN, CrN) u taħriġ operattiv għal timijiet interni ta' manutenzjoni u inġinerija.

Appoġġ Dijanjostiku mill-bogħod:

Sistemi mgħammra b'bibien ta 'router industrijali siguri għal issolvi l-problemi tal-parametri remoti u dijanjostiċi tal-loġika tal-PLC.

FAQ

Q: Kif is-sistema tikkontrolla l-ġenerazzjoni tal-makropartikuli (droplet) inerenti għall-evaporazzjoni tal-ark?

A: It-tagħmir juża kojls ta 'l-isteering tal-kamp manjetiku aġġustabbli biex iċċaqlaq il-post ta' l-ark tal-katodu malajr madwar il-wiċċ fil-mira, u jnaqqas il-ħin ta 'residenza u l-ejection tal-qtar. Għal applikazzjonijiet li jeħtieġu finituri ultra-lixx, moduli tal-ark iffiltrat mhux obbligatorju jiddevjaw manjetikament il-plażma tal-metall 'il bogħod mill-makropartiċelli qabel ma jilħqu s-sottostrat.

Q: X'inhi r-rata tipika ta 'utilizzazzjoni tal-mira għall-konfigurazzjoni standard tal-katodu?

A: Katodi ċirkolari u rettangolari standard jiksbu rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjal fil-mira ta' 40% sa 55%, skont il-profil tal-kamp manjetiku u l-ħxuna tal-mira. Is-sostituzzjoni tal-mira hija assigurata mekkanikament b'mekkaniżmi ta'-morsa ta' malajr biex jimminimizzaw il-ħin ta' waqfien tal-manutenzjoni.

Q: Dan it-tagħmir jista 'jiġi integrat f'linja ta' produzzjoni awtomatizzata eżistenti?

A: Iva. L-arkitettura tal-kontroll PLC tappoġġja protokolli ta 'komunikazzjoni SECS/GEM u handshaking standard I/O diġitali għall-integrazzjoni ma' linji awtomatizzati ta 'pre-tindif u ċelloli robotiċi tat-tagħbija.

Q: X'inhu l-ħin standard għall-konfigurazzjoni tal-kamra tad-dwana?

A: Is-sistemi standard tal-lott vertikali jeħtieġu 16 sa 22 ġimgħa mill-approvazzjoni tat-tpinġija sa l-ittestjar tal-aċċettazzjoni tal-fabbrika (FAT), skont speċifikazzjonijiet personalizzati tal-grupp tal-ippumpjar u arranġamenti tal-provvista tal-enerġija.

Aħna -magħrufa sew bħala wieħed mill-manifatturi u fornituri ewlenin tat-tagħmir tal-film irqiq tal-evaporazzjoni tal-ark fiċ-Ċina. Jekk int ser tixtri tagħmir ta 'film irqiq ta' evaporazzjoni ta 'ark personalizzat magħmul fiċ-Ċina, merħba tikseb pricelist mill-fabbrika tagħna. Għal konsultazzjoni tal-prezz, ikkuntattjana.