Ħarsa ġenerali tal-prodott
Dan it-Tagħmir tal-Film Irqiq tal-Evaporazzjoni tar-Raġġ tal-Electron huwa mfassal għal depożizzjoni fiżika tal-fwar ta'-preċiżjoni għolja (PVD). Bl-użu ta' raġġ ta' elettroni ta'-enerġija għolja ffukat biex jibbumbardja materjali sors, is-sistema tikseb rati ta' evaporazzjoni għolja għal metalli, ossidi, u materjali dielettriċi ta' punt ta'-tidwib-għoli.
Mibnija fuq arkitettura tal-vakwu modulari, is-sistema takkomoda guns multi-elettroni tal-but, attrezzaturi tas-sottostrat personalizzabbli, u monitoraġġ avvanzat in-situ. Hija sservi laboratorji ta' R&D u linji ta' produzzjoni b'rendiment għoli-li jeħtieġu kontroll strett fuq l-istekjometrija tal-film, l-adeżjoni, u l-prestazzjoni ottika.
-
![Tagħmir ta 'evaporazzjoni b'raġġ ta' elettroni b'vakwu għoli]()
Tagħmir ta 'evaporazzjoni b'raġġ ta' elettroni b'vakwu għoliIs-Sistema ta' Evaporazzjoni tar-Raġġ ta' Elettroni b'Vakwu Għoli tas-Serje EBE-depożita films irqaq ta'-purità għolja għal applikazzjonijiet ottiċi, semikondutturi u metallurġiċi. Billi...ara aktar -
![Sistema ta' Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-Raġġ ta' Elettron]()
Sistema ta' Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-Raġġ ta' Elet...Is-Sistema ta' Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-raġġ ta' Elettron tagħti proċessar PVD direzzjonali, ta'-purità għolja għal riċerka avvanzata u produzzjoni industrijali. Bl-użu ta 'raġġ ta'...ara aktar -
![Tagħmir ta 'evaporazzjoni bil-vakwu tar-raġġ ta' l-elettroni]()
Tagħmir ta 'evaporazzjoni bil-vakwu tar-raġġ ta' l-elettroniDin is-Sistema ta' Evaporazzjoni bil-Vakwu tar-Raġġ ta' Elettron tesegwixxi depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD) ta' metalli, ossidi, u dielettriċi b'punt għoli ta'-tidwib-. Billi tidderieġi raġġ ta...ara aktar -
![Tagħmir ta 'Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-raġġ ta 'elettroni]()
Tagħmir ta 'Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-raġġ ta 'elet...Din is-sistema industrijali ta' depożizzjoni tar-raġġ tal-elettroni tutilizza pistoli tal-elettroni ffukati b'mod manjetiku (3 kW sa 15 kW) biex tidderieġi flussi tal-enerġija ta'-densità għolja...ara aktar -
![Tagħmir ta' Film Irqiq ta' Evaporazzjoni tar-Raġġ ta' Elettroni]()
Tagħmir ta' Film Irqiq ta' Evaporazzjoni tar-Raġġ ta' Ele...Is-serje EBE-V600 hija pjattaforma ta' depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD) fuq skala-industrijali ddisinjata għal kisi ta' film irqiq-preċiż ta' komponenti ottiċi, apparat semikonduttur, u...ara aktar
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
|
Parametru |
Firxa ta 'speċifikazzjoni |
Noti / Konfigurazzjoni Standard |
|
Pressjoni Bażi Ultimate |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Mikseb permezz ta' gruppi ta' ippumpjar krijoġeniċi jew turbo-molekulari |
|
Dimensjonijiet tal-Kamra |
Personalizzat (500 mm sa 1200 mm dijametru intern) |
Azzar li ma jissaddadx 304L / 316L, elettro-illustrat |
|
E-Klassifikazzjoni tal-Qawwa tal-Pistola |
6 kW sa 15 kW (ġeneraturi ta' sweep multi-pocket) |
Deflessjoni tar-raġġ programmabbli u indiċjar ta' multi-griġjol |
|
Rata ta' Deposizzjoni |
0.1 nm/s sa 10 nm/s |
Kontroll tal--ħin reali magħluq-loop permezz tal-moniter tal-kristall tal-kwarz |
|
Uniformità tal-Ħxuna tal-Film |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Fixture ta ' substrat planetarju jew koppla b'rotazzjoni ta ' veloċità varjabbli |
|
Temperatura tas-sottostrat |
Ambjent għal 800 grad |
Tisħin radjanti integrat b'rispons termali PID |
Karatteristiċi Ewlenin tat-Tagħmir
-Stabbiltà Għolja Elettron Gun:
Jikkaratterizza deflessjoni manjetika u fokus multi-punt biex jipprevjeni sħana żejda lokali tal-materjali tas-sors u jelimina l-bżiq waqt l-evaporazzjoni reattiva.
Disinn tal-griġjol modulari:
Mgħammar b'4 sa 6-foklari indiċjabbli tal-but, li jippermettu depożizzjonijiet b'ħafna saffi mingħajr ma jinkiser il-vakwu.
Interlock Avvanzat tal-Vakwu:
Valvoli pnewmatiċi kkontrollati minn PLC-, roughing awtomatizzat/sekwenzjar tal-vakwu għoli-, u interlocks jipproteġu kontra falliment tal-ilma li jkessaħ u anomaliji tal-enerġija.
Kamra ta'-Kontaminazzjoni Baxxa:
Ilqugħ intern juża elettro-istainless steel illustrat b'inforri li jistgħu jitneħħew għal tnaqqis ta' malajr tal-partikuli u tibdil fil-manutenzjoni.
Materjali u Substrati tal-Film
Materjali ta' Evaporazzjoni Kompatibbli
Metalli: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielettriċi u Ossidi: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Tipi ta' substrat
Wejfers tas-silikon (2 pulzier sa 12-il pulzier)
Ħġieġ ottiku, silika mdewba, u substrati tal-kwarz
Films tal-polimeru flessibbli (poliimide, PET permezz ta' moduli roll-to-roll)
Sostrati taċ-ċeramika (Al2O3, AlN)
Applikazzjonijiet
Kisi ottiku:
Kisjiet anti-riflettivi (AR), filtri-dejqa, u mirja ta'-riflettività għolja għal sistemi tal-lejżer u fotonika.
Apparati semikondutturi:
Formazzjoni ta' kuntatt ohmiku, metallizzazzjoni tal-bieb, u proċessar ta' lift-off għall-mikroelettronika.
Optoelettronika:
Saffi ta' ossidu konduttiv trasparenti (TCO) u films irqaq għal wirjiet OLED u ċelloli fotovoltajċi.
R&D Avvanzat:
Saffi esploratorji tal-film irqiq-manjetiċi, films superkonduttivi, u eterostrutturi b'ħafna-saff.
Personalizzazzjoni u Konfigurazzjoni tas-Sistema
Kull sistema ta'-film irqiq hija kkonfigurata biex taqbel ma' riċetti ta' proċessi speċifiċi u layouts tal-faċilitajiet. L-adattamenti tal-inġinerija disponibbli jinkludu:
Għażla tal-Munzell tal-Ippumpjar:
Turbo-pompi molekulari (TMP), krijopompi, jew konfigurazzjonijiet ta' tixrid ta'-żejt imfassla għall-bażi ta' rekwiżiti ta' vakwu u throughput.
Tagħbija-Lock Integration:
Tagħbija manwali-sakkar jew sistemi awtomatizzati ta' cluster b'ħafna-kmamar biex iżommu integrità ta' vakwu ultra-għoli u jżidu l-fluss tal-wejfer.
-Metroloġija fil-post:
Portijiet ta' integrazzjoni għal ellipsometri spettroskopiċi, moniters ottiċi, jew analizzaturi tal-gass residwu (RGA).
Softwer tal-Kontroll:
Interface proprjetarja PLC/HMI b'ħażna ta 'riċetti, illoggjar tad-dejta, u protokolli ta' komunikazzjoni SECS/GEM għall-integrazzjoni intelliġenti tal-fabbrika.
Manifattura u Kontroll tal-Kwalità
Fabbrikazzjoni tal-Bastimenti:
Il-kmamar tal-vakwu kollha jgħaddu minn testijiet ta' tnixxija ta' spettrometru tal-massa tal-elju b'limitu ta' rifjut ta' < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Integrità tal-Iwweldjar:
L-iwweldjar TIG imwettaq taħt ilqugħ tal-gass inert, segwit minn passivazzjoni tal-wiċċ intern u illustrar mekkaniku biex jitnaqqas l-outgassing.
Ittestjar tal-Aċċettazzjoni tal-Fabbrika (FAT):
Test ta' 72-siegħa kontinwu niexef-li jkejjel il-kurvi tal-ippumpjar, il-preċiżjoni tal-knis tal-e-gun, il-ħinijiet tar-rispons tal-interlock, u l-istabbiltà termali qabel il-kreazzjoni.
Konformità u Standards:
Manifatturat taħt sistema ta 'ġestjoni tal-kwalità ċċertifikata ISO 9001, b'sistemi ta' inġinerija biex jissodisfaw id-direttivi CE u l-linji gwida rilevanti tas-sigurtà u l-ergonomija SEMI (S2/S8).
FAQ
Aħna -magħrufa sew bħala wieħed mill-manifatturi u l-fornituri ta 'tagħmir ta' film irqiq ta 'l-evaporazzjoni tar-raġġ ta' elettroni ewlenin fiċ-Ċina. Jekk int ser tixtri tagħmir ta 'film irqiq ta' evaporazzjoni tar-raġġ ta 'elettroni personalizzat magħmul fiċ-Ċina, merħba tikseb pricelist mill-fabbrika tagħna. Għal konsultazzjoni tal-prezz, ikkuntattjana.
