Tagħmir ta 'Deposizzjoni ta' Film Irqiq tar-raġġ ta 'elettroni

Din is-sistema industrijali ta' depożizzjoni tar-raġġ tal-elettroni tutilizza pistoli tal-elettroni ffukati b'mod manjetiku (3 kW sa 15 kW) biex tidderieġi flussi tal-enerġija ta'-densità għolja f'fuklar tar-ram imkessħa bl-ilma-. Bl-evaporazzjoni ta' materjali ta' sors ta' purità għolja- taħt kundizzjonijiet ta'-vakwu għoli (pressjoni bażi aħħarija < 5 x 10^-6 Torr), is-sistema tifforma films irqaq uniformi u densi fuq wejfers semikondutturi, ħġieġ ottiku u substrati tal-metall. Inġinerija għal ambjenti ta 'produzzjoni b'rendiment għoli u laboratorji ta' materjali avvanzati li jitolbu kontroll stojkjometriku strett u ripetibbiltà tal-film.

Deflessjoni tar-raġġ manjetiku ta' 270 grad:It-trajettorja tar-raġġ mgħawweġ tipproteġi l-emittent tal-filament mill-fluss dirett tal-fwar, tevita d-degradazzjoni tal-emittent u timminimizza l-ark ta' vultaġġ għoli-.

Kontroll tar-Rata ta' Depożitu ta' Loop-Magħluq:Ir-rispons f'-ħin reali mill-interface QCM tas-sensuri doppju-dinamikament jimmodula l-output tal-provvista tal-enerġija, u jsostni rati ta' tkabbir stabbli (+/- 0.1 Angstrom/s).

Indiċjar Programmabbli Multi-Pocket:Turret tal-griġjol motorizzat jippermetti depożizzjoni sekwenzjali b'ħafna-saffi mingħajr ma jitkisser il-vakwu jew jiġi ventilat il-kamra tal-proċess.

Sekwenzar tal-Vakwu Interlocked:Valvoli pnewmatiċi awtomatizzati u softwer-sfurzat roughing/high{1}}vacuum interlocks jipproteġu sottostrati delikati u jipprevjenu l-operatur-iżbalji tal-vakwu indotti.

Subsistema tat-tħaffir:Pompa tal-paletta rotatorja ta'-stadju doppju integrata ma' blower tal-għeruq ta'-kapaċità għolja għal transizzjoni rapida mill-atmosfera għal vakwu mhux maħdum (< 10^-2 Torr).

Sottosistema ta'-Vakwu Għoli:Pompa turbomolekulari ta' levitazzjoni manjetika (1200 L/s) flimkien ma' nassa tal-kesħa b'ċirku magħluq -fakultattiv jew cryopomp biex telimina l-backstreaming tal-idrokarburi.

Metroloġija u Dijanjostika:Gauges Pirani doppji għall-verifika tal-linja roughing; Bayard-Gauges ta' jonizzazzjoni ta' katodu sħun Alpert għal monitoraġġ ta'-vakwu għoli. Portijiet tat-test tat-tnixxija tal-elju integrati ISO-KF/ISO-F standard fuq il-manifolds kollha.

Filtri tal-Interferenza tal-Lejżer u Ottiċi:Depożizzjoni ta' multi-saffi ta' filtri dielettriċi li jeħtieġu tqabbil preċiż tal-indiċi ta' rifrazzjoni u tixrid ottiku minimu.

Fabbrikazzjoni ta' Apparat Semikonduttur:Formazzjoni ta' kuntatti ohmiċi, skemi ta' lift-off tal-metallizzazzjoni, u barrieri ta' iżolament dielettriku tal-bieb.

Riċerka Fotovoltajka u Enerġija:Sinteżi ta 'saffi buffer u elettrodi ta' ossidu konduttiv trasparenti (TCO) għal ċelloli solari avvanzati.

Ġeometrija tal-Kamra:Daqs tal-kamra skalabbli mfassal biex jakkomoda pannelli ċatti ta 'daqs kbir jew detenturi ta' sottostrat personalizzati speċjalizzati.

Ibridazzjoni tas-Sors:Kapaċitajiet ta' integrazzjoni għal konfigurazzjonijiet ta' ko-evaporazzjoni, li jikkombinaw guns E-raġġ doppju jew sorsi ibridi E-raġġ/termali reżistenti.

Integrazzjoni tal-kamra nadifa:Permezz ta'-layouts ta' immuntar tal-ħajt (standard jew isfar-kompatibbli għal cleanroom ħafif) li jinkludu kurituri ta' utilità u servizz ta' aċċess-wara.

Ittestjar tal-Ispettrometru tal-Massa tal-Elju:Kull kamra tal-vakwu fabbrikata tgħaddi minn ttestjar rigoruż tat-tnixxija tal--spettrometru biex jiġi żgurat limitu ta' linja bażi ta' < 1 x 10^-9 Pa xm^3 / s.

Ħruq ta'-Vultaġġ Għoli-Fi:Il-provvisti ta' l-enerġija ta' l-E-gun huma soġġetti għal burn in operazzjonali kontinwu ta' 48-siegħa u test tas-saħħa dielettrika taħt kundizzjonijiet ta' tagħbija sħiħa.

Metroloġija Dimensjonali:Il-verifika tal-Magni tal-Kejl tal-Koordinati (CMM) utilizzata għall-ko-planarità tad-detentur tas-sottostrat u t-tolleranzi tal-allinjament tal-griġjol-mat--gun.

Ittestjar tal-Aċċettazzjoni tal-Fabbrika (FAT):Mogħtija b'pakketti ta' dokumentazzjoni komprensivi, inklużi zkuk tal-verifika tad-depożizzjoni tal-materjal, kurvi tal-pompa-down, u rapporti tat-test tas-sigurtà elettrika.

-Kummissjonar fuq is-Sit:Fabbrika-inġiniera fuq il-post iċċertifikati jidderieġu armar mekkaniku, konnessjonijiet ta' utilità (enerġija, ilma, u gass), u dijanjostiċi inizjali tal-integrità tal-vakwu.

Programm ta' Taħriġ għall-Operaturi:Taħriġ strutturat fuq-sit li jkopri interlocks tas-sigurtà tas-sistema, flussi tax-xogħol ta' sostituzzjoni ta' katodu/filament, u programmar ta' riċetti HMI.