Din is-sistema ta' evaporazzjoni bl-ark katodiku tifvaporizza miri katodi solidi permezz ta' ark elettriku ta'-vultaġġ baxx, għoli-kurrent biex tiġġenera plażma tal-metall kompletament jonizzata. Meta mqabbel ma 'evaporazzjoni termali standard jew sputtering ta' magnetron, dan il-proċess PVD jagħti densità ogħla tal-plażma u film superjuri-għal-adeżjoni tas-sottostrat, imfassla għal kisjiet iebsa funzjonali, reżistenti għall-ilbies-u dekorattivi.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
|
Parametru |
Speċifikazzjoni Firxa / Valur |
|
Dimensjonijiet tal-Kamra |
Konfigurazzjonijiet ċilindriċi/kaxxa apposta (Standard: Φ600mm x 600mm sa 1200mm x 1200mm) |
|
Pressjoni tal-Vakwu Ultimate |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and rotary vane/roots pump suite) |
|
Pompa-Ħin ta' Niżżel |
Atmosferiku għal 8.0 x 10^-3 Pa pulzieri<= 15 minutes (Dry, clean, empty chamber) |
|
Provvisti tal-Enerġija tal-Ark |
Ġeneraturi Pulsed u DC (Output: 0 - 200A aġġustabbli, tmewwiġ<= 1%) |
|
Sorsi tal-Katodu |
2 sa 6 sorsi ta' ark ta' l-istering ċirkolari/rettangolari ffiltrati manjetiċi jew standard |
|
Vultaġġ tal-Bias tas-Sustrat |
0 - -1000V DC/Pulsed polarizzazzjoni (Frekwenza: 10 - 100 kHz) |
|
Rotazzjoni tas-sottostrat |
Mekkaniżmu ta' rotazzjoni planetarju jew ta'-assi wieħed (1 - 15 RPM) b'għalf ta' l-ilma/elettriku |
|
Kontroll Operattiv |
PLC + PC industrijali b'eżekuzzjoni awtomatizzata tar-riċetti u overrides manwali ta 'interlock |
Karatteristiċi Ewlenin
Sorsi ffiltrati manjetiċi:Il-kanali manjetiċi interni jiddevjaw microdroplets unionizzati 'l bogħod mill-fluss tal-fwar, u jiżguraw ħruxija baxxa tal-wiċċ (Ra) għal partijiet ta' preċiżjoni.
Kontroll tal--Loop Bias magħluq: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 um).
Rata Għolja ta' Jonizzazzjoni:L-effiċjenza tal-jonizzazzjoni tal-plażma tilħaq 40% - 80%, issuq twaħħil kimiku dens mingħajr assistenza esterna tal-frekwenza tar-radju.
Disinn tal-Kamra Modulari:Fabbrikat minn azzar li ma jissaddadx 304/316L b'uċuħ interni elettro-illustrati (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.
Konfigurazzjoni tas-Sistema tal-vakwu
Pompi għat-tħaffir u l-Għeruq:Pompi tal-paletta rotanti ta' stadju doppju-imqabbda ma' booster blowers mekkaniċi jimmaniġġjaw roughing inizjali u tagħbijiet ta' gass għoljin waqt injezzjoni reattiva ta' N2 jew C2H2.
Pompi tal-Vakwu Għoli:Pompi turbo-molekulari ta' levitazzjoni manjetika (1200 - 3200 L/s) iżommu veloċitajiet ta' ippumpjar għoljin għall-fwar tal-ilma residwu u gassijiet ħfief.
Valvoli u kejl:Valvoli pnewmatiċi tal-bieb, flanġijiet tas-siġillar bil-vakwu għoli-ISO/CF, u gauges tal-jonizzazzjoni Pirani/hot-katodu kombinati integrati direttament fil-linja interlock tal-PLC.
Kompatibbiltà ta' Materjali u Sottostrat
Miri tal-Katodu Kompatibbli
Metalli Puri:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W
Ligi u Komposti:TiAl, CrAl, TiSi, WC, miri tal-grafita għad-depożizzjoni tal-karbonju-bħal djamanti (DLC)
Materjali tas-sottostrat
Metalli iebes u Karburi:Karburi tas-siment (WC-Co), azzar b'veloċità għolja-(HSS), inserts tal-qtugħ tal-istainless steel
Semikondutturi u Ċeramika:Wejfers tas-silikon, alumina (Al2O3), ċeramika teknika ta 'inġinerija
Applikazzjonijiet
Għodod tal-Qtugħ u Imut:Depożizzjoni ta' TiN, TiAlN, u CrN fuq trapani, imtieħen tat-tarf, u forom tal-ittimbrar biex tiżdied l-ebusija tal-wiċċ għal 2500 - 3500 HV u titnaqqas il-frizzjoni.
Komponenti tal-Karozzi:Ilbes-saffi ta' frizzjoni-baxx fuq ċrieki tal-pistun, pinnijiet tal-injettur, u snien tal-gerijiet.
Kisi iebes dekorattiv:Kisi tal-kulur PVD (deheb, deheb rose, gunmetal, titanju iswed) għal ħardwer u housings tal-elettronika tal-konsumatur.
Films irqaq funzjonali:Saffi konduttivi u barriera għall-mikroelettronika u l-ippakkjar tas-semikondutturi.
Personalizzazzjoni
Daqs tal-Kamra:Varjazzjonijiet tal-volum skalat li jaqblu ma' ġeometriji speċifiċi tal-lott u footprints tal-produzzjoni.
Ibridazzjoni tas-Sors:Integrazzjonijiet b'ħafna-katodi li jgħaqqdu sorsi ta' ark katodiku ma' katodi ta' sputtering ta' magnetron żbilanċjat (UBMS) għal films b'ħafna-saffi gradjent.
It-twaħħil tas-sottostrat:Jigs planetarji apposta, matriċi ta 'tisħin lokalizzati sa 600 grad, u feedthroughs ta' enerġija personalizzati.
Integrazzjoni tas-Software:Loġika tar-riċetta PLC personalizzata, illoggjar tad-dejta SCADA, u konfigurazzjonijiet ta 'konformità industrijali.
Kontroll tal-Kwalità
Sejbien ta' tnixxija:Ittestjar tal-ispettrometru tal-massa tal-elju fuq il-kmamar kollha u l-ħjatat tal-weldjatura, li jiggarantixxi rata ġenerali ta’ tnixxija ta’<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.
Spezzjoni tas-Sigurtà Elettrika:Ittestjar ta' reżistenza dielettrika b'potenzal għoli-, kontrolli tal-kontinwità tal-ert, u verifika tar-rispons tal-interlock qabel il-crating.
Traċċabilità tal-Materjal:Ir-rapporti tat-test tal-materjal (MTRs) ipprovduti għall-istainless steel strutturali, siġilli tal-vakwu, u komponenti ta' insulazzjoni ta'-vultaġġ għoli.
-Tmexxija ta' Prova ta' Qabel il-Ġarr:Test kontinwu ta' 72-siegħa dry-run tal-ippumpjar, drives ta' rotazzjoni, u provvisti ta' enerġija taħt ċikli simulati.
Installazzjoni u Appoġġ Tekniku
Gwida għat-Tħejjija tas-Sit:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/h fi 20 - 25 grad ), estrazzjoni tal-egżost, u qtar elettriku (380V/480V, 3-phase, 50/60Hz).
Kummissjonar u Aċċettazzjoni:Factory Acceptance Testing (FAT) fil-faċilità tagħna; Ittestjar tal-Aċċettazzjoni tas-Sit (SAT) u trasferiment tal-proċess eżegwit fuq-sit minn inġiniera residenti.
Appoġġ taċ-ċiklu tal-ħajja:Dijanjostika remota VPN sigura, ħażna ta 'inventarju ta' spare parts (miri, tarki, siġilli), u taħriġ ta 'manutenzjoni ta' tekniku lokali.
FAQ
Q: Kif is-sistema timminimizza l-formazzjoni tal-qtar (makropartiċelli) inerenti għall-evaporazzjoni tal-ark?
A: Is-sistema tutilizza sorsi ta 'ark katodiku ffiltrat manjetiku (istering manjetiku u filtrazzjoni tal-kanal). Dan jgħawweġ in-nixxiegħa tal-plażma waqt li jaqbad microdroplets fuq baffles interni, u jagħti morfoloġija tal-film bla xkiel u qtar-ħieles.
Q: X'inhi l-firxa tat-temperatura tas-sottostrat waqt id-depożizzjoni, u kif tiġi ġestita s-sħana?
A: It-temperaturi operattivi jvarjaw minn 150 grad sa 500 grad. Ħiters ta' radjazzjoni integrati u kanali ta' tkessiħ tal--ilma b'ċirku magħluq- ġewwa l-kontenitur tas-sottostrat jipprevjenu t-distorsjoni termali ta' komponenti sensittivi.
Q: It-tagħmir jista 'jmexxi ċikli ta' produzzjoni awtomatizzati kontinwament?
A: Iva. L-arkitettura tal-PLC tawtomatizza l-pompa-down, il-kondizzjonament tal-mira, it-tqabbid tal-ark, il-kontroll tal-gass reattiv permezz ta' kontrolluri tal-fluss tal-massa (MFCs), u sekwenzi ta' venting fuq għadd ta' ġirjiet ta' lott-multi.
Q: Liema rekwiżiti ta' utilità għandhom ikunu lesti fuq-post qabel il-kunsinna?
A: Ir-rekwiżiti jinkludu provvista stabbli ta 'ilma mkessaħ, arja kkompressata (0.6 - 0.8 MPa) għal valvi pnewmatiċi, għalf ta' enerġija elettrika li tqabbel it-tagħbija tas-sistema (60 - 120 kVA), u linji tal-gass tal-proċess regolati (Argon, Nitroġenu, Aċitilena).
It-tags Popolari: tagħmir tal-film irqiq tal-evaporazzjoni tal-ark, iċ-Ċina manifatturi tat-tagħmir tal-film irqiq tal-evaporazzjoni tal-ark, fornituri, fabbrika
