Il-komponenti ewlenin tal-magna tal-kisi PVD jinkludu l-partijiet li ġejjin:
Kamra tal-vakwu: Il-proċess tal-kisi jeħtieġ li jitwettaq f'kundizzjonijiet ta 'vakwu għoljin. Il-kamra tal-vakwu hija l-parti ewlenija biex tinżamm l-istat tal-vakwu għoli fil-kamra. Is-soltu huwa magħmul minn azzar li ma jissaddadx jew materjali oħra reżistenti għall-korrużjoni, u l-interjuri huwa trattat apposta biex jiġi evitat tnixxija tal-gass.
Sistema ta 'provvista fil-mira: Il-mira tintuża biex tiġġenera s-sors ta' evaporazzjoni jew raġġ tal-joni. Is-sistema tal-provvista fil-mira ġeneralment tikkonsisti minn heater, detentur tal-mira u senser biex jikkontrolla t-temperatura fil-mira u r-rata ta 'evaporazzjoni tal-wiċċ fil-mira.
Sistema ta 'Tisħin Awżiljarju: F'xi każijiet speċjali, huwa meħtieġ tisħin addizzjonali biex itejjeb l-effett tal-kisi. Is-sistema ta 'tisħin awżiljarja hija ġeneralment magħmula minn heater u apparat ta' kontroll tat-tisħin, li jista 'jipprovdi enerġija ta' tisħin addizzjonali.
Tax-substrat: Jintuża biex jiffissa s-sottostrat li jkun miksi, ġeneralment jikkonsisti minn qafas ta 'apparat u apparat. L-apparat għandu jkollu konduttività termali tajba sabiex l-enerġija tat-tisħin tkun tista 'tiġi trasferita b'mod uniformi għas-sottostrat.
Sistema ta 'l-exhaust: Jintuża biex tneħħi l-gass fil-kamra tal-vakwu biex iżżomm grad ta' vakwu għoli. Ġeneralment, tinkludi taħlita ta 'pompi multipli bħal pompi mekkaniċi, pompi molekulari u pompi ta' diffużjoni.
Sistema ta 'Kontroll: Użata biex tissorvelja u tikkontrolla l-proċess kollu tal-kisi. Inkluż il-kontroll tat-temperatura, il-monitoraġġ tal-vakwu, il-kontroll tar-rata tal-evaporazzjoni fil-mira, eċċ. Xi magni avvanzati tal-kisi PVD huma mgħammra wkoll b'sistemi ta 'kontroll awtomatiċi biex tinkiseb produzzjoni awtomatizzata.
